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研究施設Research facility
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アドバンスト・リサーチ・
ラボラトリー
クリーンルーム
（左）マスク・アライナー
（右）表面形状測定装置
抵抗加熱真空蒸着装置
スピンコーター
レーザー描画装置
コンパクト・エッチャー
マスクレス描画装置
セルソーター
全自動倒立型顕微鏡
ディープ・フリーザー
バイオセーフティー・
キャビネット
アドバンスト・リサーチ・
（左）マスク・アライナー
バイオセーフティー・
